日本SMC鋁制高真空L型閥，CJP2B10-5D-B
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;單榮兵/余娟
XL系列鋁高真空角閥低的新法成為可能使用一個(gè)低容量泵和也疏散時(shí)間縮短。
這種閥門不包含等重金屬鎳（鎳）或鉻（）和低鉻濺射產(chǎn)量也可幫助重金屬污染zui小化的半導(dǎo)體器件晶圓。
優(yōu)良的熱傳導(dǎo)性的結(jié)果在均勻溫度為整個(gè)閥體、明顯下降在氣體內(nèi)冷凝閥。
ULTIC裝甲是一個(gè)注冊(cè)商標(biāo)的,垂詢。Valqua新日鐵注）尺寸16不適用于H2,H3,25碼的不是為H2。
艾凡指標(biāo)/飛行員港口方向象征零AFGJKLM試點(diǎn)港方向指示器沒有指標(biāo)與指標(biāo)沒有指標(biāo)法蘭邊法蘭邊左法蘭面后方法蘭面對(duì)法蘭面左法蘭面后方法蘭面對(duì)法蘭面法蘭邊后方法蘭面左法蘭面對(duì)法蘭面汽車開關(guān)并非是適用于高溫規(guī)格（溫度規(guī)格,H2,H3 H0）。標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)聯(lián)線長度是0.5米。
加入“L”的zui后部分3米,是理想的數(shù)量時(shí),“m”時(shí),可達(dá)1米“Z”當(dāng)5米。
例）-M9NL密封材料改變部分和泄漏象征零ABC改變部分沒有是別的東西,而不是“零”（標(biāo)準(zhǔn)）,列表的符號(hào)日本SMC鋁制高真空L型閥開始以緊隨其后的是每個(gè)符號(hào)為“身體表面處理,”
“密封材料”,再選擇“改變分離。”
例）XLA-16-M9NA-XAN1A注2）注1）值在常溫下,不含氣體滲透。
注2）,是指零件數(shù)量的“建構(gòu)”為改變部分14頁。
部件號(hào)碼的數(shù)字表示“建構(gòu)”進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。
XLC問t y16 M9N一個(gè)你是囊括的鋁高真空角閥雙動(dòng)/波紋管密封XLC/XLCV系列問法蘭尺寸大小162540506380y數(shù)量的汽車開關(guān)/安裝的位置象征零ABC數(shù)量沒有汽車開關(guān)2件。
安裝的位置-閥門開啟和關(guān)閉開啟閥門閥門處于關(guān)閉狀態(tài)注）尺寸16不適用于H2,H3,25碼的不是為H2。
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